1物理化學工藝：化工廢水的預處理和深度處理常常使用物理化學處理工藝。化工廢水的預處理常常使用的物理方法有氧化還原、吸附分離、混凝沉淀等。

　　1.1高級化學氧化：化學氧化的處理過程是將較為復雜且難以降解的有機物進行氧化，在氧化劑的作用下，降解成簡單的物質。但是在氧化劑的缺點卻日益明顯：不足的氧化能力和選擇性氧化。高級化學氧化很好地克服了這些缺點，它是通過光、電、聲等高級氧化過程，產生出來氧化性能更強的物質。比如對含甲基丙烯酸甲酯(MMA)的半導體廢水的處理主要是分別通過O3和O3/UV工藝來實現。后者工藝能夠礦化MMA和中間氧化產物。

　　1.2微電解技術：對于高濃度鹽和有機物的難降解廢水的預處理，常常使用微電解技術，這種技術對固體廢物進行了有效地利用，它是利用了金屬腐蝕原電池的原理，微小原電池在鐵屑表面被構成了，污染物的電化學轉化在電擊傷得以實現，具有消毒作用的·OH和活性氯也會在電解的過程之中產生出來。

　　1.3吸附分離技術：大孔樹脂吸附技術是上世紀七十年代發展起來的新工藝，簡單講，就是將廢水通過大孔樹脂，吸附其中的污染物成分，樹脂再經洗脫再生，重復使用。該技術目前在廢水處理中廣泛應有。

　　2生物處理工藝：生物處理技術有很多的細分類別，主要包括厭氧、缺氧、好氧技術，每種技術根據反應器結構的不同，又分為多種方式，為了提高化工廢水處理效果，在實際的工程當中，采用組合工藝是較為明智的。